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型號(hào):HAD0-70601

能薄膜性測(cè)試儀 薄膜性測(cè)試儀

描述:儀器由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x兩分組成。具有測(cè)量度,靈敏度,穩(wěn)定性好,測(cè)量范圍寬,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,半導(dǎo)體器件廠,科研單位,等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間

    2016-09-08
  • 訪問(wèn)量

    1120
詳細(xì)介紹
品牌恒奧德

能薄膜性測(cè)試儀型號(hào):HAD0-70601  
儀器由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x兩分組成。具有測(cè)量度,靈敏度,穩(wěn)定性好,測(cè)量范圍寬,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,半導(dǎo)體器件廠,科研單位,等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。

四探針測(cè)試儀由主機(jī),測(cè)試架等分組成??梢詼y(cè)量片狀,塊狀,塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率,測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻),能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的性,還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低,中值電阻行測(cè)量。測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確,游移率小,壽命長(zhǎng)。

非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室,溫控系統(tǒng),真空系統(tǒng),阻測(cè)量系統(tǒng)等分組成。

1. 測(cè)量范圍:電阻測(cè)量范圍:1×106 1×1017Ω;

電阻率:0.001~200Ω cm;

電導(dǎo)率:0.005~1000s/cm;

2. 可測(cè)晶片直徑:200mm×200mm;

3. 探針:碳化鎢或速鋼;探針間距:1± 0.01mm;

4. 針間緣電阻: ≥ 1000 MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%;

5. 本底真空度: ≤10Pa,氣壓可控范圍:10~400Pa;

襯底加熱溫度:室溫度~200℃



 
能薄膜性測(cè)試儀能薄膜性測(cè)試儀HZDH0-70601

 

 

 

2.

產(chǎn)品名稱:綜合校驗(yàn)儀
產(chǎn)品型號(hào):HS-VD3002

綜合校驗(yàn)儀 型號(hào):HS-VD3002

本儀器采用三路立LED數(shù)碼顯示系統(tǒng),內(nèi)置兩組立的穩(wěn)定信號(hào)發(fā)生器,可同時(shí)顯示兩路輸出直模擬電壓、電信號(hào)及路測(cè)量直電、電壓信號(hào)。本儀器采用交供電、顯示清楚、穩(wěn)定,既能使用于實(shí)驗(yàn)室對(duì)自動(dòng)化儀表行維修、校驗(yàn)及計(jì)量,又能使用于現(xiàn)場(chǎng),對(duì)儀表行安裝、調(diào)試及維修。

     本儀器能齊、顯示直觀、操作簡(jiǎn)單、攜帶方便、適用面廣,是種理想的校驗(yàn)儀器。
  主要標(biāo)
 兩種輸出電壓、電信號(hào)
·OUT1:   1.000V、3.000V、5.000V      定值
           0~5.000V                    連續(xù)可調(diào)(內(nèi)阻250Ω)
           mV1:  0~ 19.999mV           連續(xù)可調(diào)(內(nèi)阻1Ω)
           mV2:  0~ 100.00mV           連續(xù)可調(diào)(內(nèi)阻5Ω)
           mA1:  0~ 19.999mA           連續(xù)可調(diào)(RL≤ 600Ω)
           mA2:  0~ 22.00mA             連續(xù)可調(diào)(RL≤600Ω)
·OUT2 :   1V、2V、3V、4V、5V      定值 (內(nèi)阻250Ω)
4.000mA、8.000mA、12.000mA、16.000mA、19.999mA  定值 (RL≤600Ω)      
◆ 輸出準(zhǔn)確度:  ±0.05%F.S±1個(gè)字
◆ 測(cè)量電壓、電信號(hào)
     DCV:   0.2V、2V、20V、200V       四個(gè)量程
     DCA: 0~200mA
◆ 測(cè)量準(zhǔn)確度:     ±0.05%F.S±1個(gè)字

 

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