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雙電測四探針測試儀的用途

更新時(shí)間:2016-06-22  |  點(diǎn)擊率:566

雙電測四探針測試儀/四探針測試儀/四探針檢測儀/雙電測四探針測定儀/雙電測四探針電阻率測試儀  型號:GSZ-RTS-9

采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。
    測試程序控制四探針測試儀行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析

 測量范圍

 電阻率:10-5105 Ω.cm(可擴(kuò)展)  
 
方塊電阻:10-4106 Ω/□(可擴(kuò)展);
 電導(dǎo)率:10-5105 s/cm;
 電阻:10-5105 Ω;

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(S-2C型測試臺);

恒源

 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA100mA六檔,各檔電連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 度:±0.1%
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;

四探針探頭基本標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間緣電阻:≥1000MΩ
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:516 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( JJG508-87)

 0.01Ω0.1Ω、、10Ω100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1

整機(jī)測量zui大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2;
 相對濕度:≤65%;
 無頻干擾;
 無強(qiáng)光直射;